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機械の研究 2018年 1 月号 [雑誌] 雑誌 – 2018/1/1
本誌「機械の研究」は、1949年(昭和24年)、それまでの
機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
究成果を平易に解説しています。
■■ 巻頭記事「次世代半導体リソグラフィの現状と展望」
次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社のシニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。
次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。
(東芝メモリ株式会社)東木達彦
機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
究成果を平易に解説しています。
■■ 巻頭記事「次世代半導体リソグラフィの現状と展望」
次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社のシニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。
次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。
(東芝メモリ株式会社)東木達彦
商品の説明
出版社からのコメント
次号の巻頭記事は…
鹿野昌弘氏(産業技術総合研究所)『リチウムイオン電池システムにおける材料と評価技術』
登録情報
- ASIN : B0788XVFT4
- 出版社 : 養賢堂 (2018/1/1)
- 発売日 : 2018/1/1
- 言語 : 日本語
- 寸法 : 25.7 x 18.2 x 2 cm
カスタマーレビュー
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